SJT 31061-1994 砂轮划片机完好要求和检查评定方法
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ID： |
C9FE31B5DCF442FBB9F254FEC51283F3 |
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文件大小(MB)： |
0.29 |
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页数： |
4 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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SJ/T 31061-94,中华人民共和国电子行业标准,砂轮划片机完好要求和检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了切割分离半导体硅片、石英、陶瓷等材料的砂轮划片机的完好要求和检,评定方法,本标准适用于!006型、DISO—5型砂轮划片机;结构类似的其它型号砂轮划片机,班,参照本标准有关条款执行,2完好要求,2.1 几何精度,1006型、DISO—5型砂轮划片机主要几何精度检测项目和检测方法,见表1,表1,序,检测项目,完好标准,检测工具和检测方法图 示,1006 型DISO-5 型,G；,X导轨与,丫导轨的,垂直度,<0. 04mm <0. 025mm,将方形角尺（6X6）放,置在承片台上,使角尺的ー,边与’X导轨成平行位置。在,丫导轨上固定指示器,使其,测头触及角尺检验面,移动,丫导轨指示器固定架检测,反之,则检测丫导轨,误差以指示器读数的,最大差值计.,空气靜压固定指示器,使貫测头触,电主轴端及主轴端面.X方向移动承,面与X导片台,检测主轴安装〃片的,轨的平行定位端面,度<0. 06mm <0. 025mm 误差以指示器最大读数,差值计,中华人民共和电子工业部1994-04-15批准1994^06-01,—1 r,SJ/T 31061-94,续表1,序,检测项目,完好标准,检测工具和检测方法图 示,号1006 型DISO - 5 型,X、丫导,轨与承片,台的平行,度,.0. 01,
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